OS-COL设备技术指标

1.熔缩炉指标:

熔缩炉电源功率 ≥40kW

熔缩炉温度范围 ≥2300℃

熔缩炉的动态温度波动精度 ±5℃

红外测温探头可测量温度范围 800℃ ~2500℃

熔缩炉的静态温度控制精度 ±2℃

2. 辅助加热系统

前后两端的辅助加热系统可达到温度范围 500-1200℃

机械设备可实现前后、左右多方向运动，运行机动灵活

3. 熔缩工艺指标

机械规格与PCVD匹配，实现微波等离子体沉积管的熔缩成型，具备沉积功能

匹配 PCVD 沉积的衬管，完成缩棒工艺

成棒椭圆度≤1.5%

成棒的最大有效长度≥900mm

成棒弓曲度≤0.8mm/m